六氟化硫(SF₆)

六氟化硫為無色、無味、不燃燒，無電抗性的，相對無毒、僅有窒息性的液化氣體。

主要應用于電子設備、雷達波導、粒子加速器、變壓器、避雷器等氣的絕緣體，致冷劑、示蹤裝置、醫(yī)療、半導體制造中的蝕刻、化學相淀積、標準氣、檢漏氣體、色譜儀的載氣。